氮化鋁板翹曲度非接觸激光在線檢測儀(yi) 問題提出：

對於(yu) 鋼性板子的翹曲，一般是指板子自然申展（除重力之外無其他外力作用）狀態的下，表麵隆起和凹陷的現象，而翹曲度，則是這種隆起和凹陷現象的程度，既隆起和凹陷之定量分析，下麵分析鋼性板子翹曲的可能狀態。

從(cong) 上麵的分析可以知道，檢測翹曲度可以通過檢測板子相對底座的高度來實現。而檢測高度又可轉換成測量板子和底層的總厚來完成。

則， 合格：翹曲度≤0.002

翹曲度>0.003

待定：0.002≤翹曲度≤0.003

氮化鋁板翹曲度非接觸激光在線檢測儀(yi) 工程解決(jue) 辦法：

• 工程解決(jue) 辦法

可以通過型掃描測厚找出大值，如下圖示：

硬件架構

係統組成如下圖：

係統架構

係統工作原理說明

1.上位電腦

上位電腦主要配置為(wei) ：CPU不低於(yu) 酷睿七代I3、硬盤1T、內(nei) 存8G、機箱為(wei) 工控機箱、電源500W標準輸出大功率服務器電源。電腦安裝WIN7 64位旗艦版係統。

上位電腦根據用戶不同的設置，控製龍門滑台帶動真空吸吊機，將不同版型的板件精確輸送到十字滑台原點上，然後上位電腦根據用戶設定的待測板件版型，調整十字滑台的運動軌跡，確保十字滑台能托舉(ju) 板件到激光測厚儀(yi) 測點上，精確測出待測點厚度，並實時將測厚數據保存到上位電腦中。測量完畢，上位電腦控製龍門滑台帶動真空吸吊機，根據測量結果不同，將板件按合格和不合格進行分揀擺放。一個(ge) 測量周期完成後，上位電腦控製十字滑台和龍門滑台回到原點，準備開始下一個(ge) 周期的測量工作。

2.龍門滑台

龍門滑台由四軸絲(si) 杆線性滑台組合而成，使用閉環伺服步進電機進行驅動。在上位電腦、單片機和四軸PLC控製器的控製下，進行X、Y、Z軸運動，將待測板件輸送到十字滑台上。由於(yu) 使用了閉環伺服控製係統和絲(si) 杆驅動機製，滑台運動可靠，耐久性好，定位精度高，可以達到毫米極。

當上位電腦發出指令後，龍門滑台移動到待測板件上方，放下真空吸吊機，真空吸吊機上的傳(chuan) 感器檢查是否有板件，如果沒有，龍門滑台複位，回到原點。如果有則繼續放下真空吸吊機，直到吸吊機的吸盤接觸到板件，發出停止下放指令。待真空吸吊機吸住板件後，上位電腦發出控製指令，龍門滑台升起真空吸吊機並移動到十字滑台上方，然後將吸吊機放下，待真空吸吊機上的接近傳(chuan) 感器發出停止信號後，龍門滑台停止下放，真空吸吊機鬆開吸盤，板件落到十字滑台上，然後龍門升起，等待測量結束。測量結束後，龍門滑台帶動真空吸吊機將板件再次提起，按照合格和不合格，將板件送到的分揀擺放地點。一個(ge) 測量周期完成後，上位電腦控製龍門滑台回到原點，準備開始下一個(ge) 周期的測量工作。

3.十字滑台

十字滑台由兩(liang) 軸絲(si) 杆線性滑台和標準翹曲度底板組合而成，使用閉環伺服步進電機進行驅動。在上位電腦、單片機和兩(liang) 軸PLC控製器的控製下，進行X、Y軸運動，將待測板件輸送到激光測厚儀(yi) 測點上進行測量。

托舉(ju) 待測板件的基座由一塊標準翹曲度底板構成。待測板件由於(yu) 自身存在翹曲，放置到底板上後，不同板件上表麵測點到標準底板的距離存在差異，上位電腦控製十字滑台用標準底板托舉(ju) 待測板件移動到激光測厚儀(yi) 測點上進行厚度測量，獲得厚度數值後再通過計算公式計算，終取得待測板件的翹曲數值，判斷板件合格還是不合格並存入數據庫中。後，上位電腦控製真空吸吊機落下，將板件移走，根據不同測量結果，將板件擺放到不同位置。測量結束，十字滑台複位，準備開始下一個(ge) 周期的測量工作。

4.真空吸吊機

真空吸吊機係統由空壓機、治具、夾具、真空發生器、真空吸盤，電磁閥、接近傳(chuan) 感器等組成。真空吸吊機通過夾具固定在龍門滑台上，當上位電腦控製龍門滑台移動到待測板件上方後，安裝治具上的接近傳(chuan) 感器檢測下方是否有板件，並將信息發送回上位電腦，如果有板件，上位電腦控製真空吸吊機落下，當真空吸盤接觸到板件表麵後，限位傳(chuan) 感器發出信號，真空吸吊機停止落下，電磁閥工作，真空發生器在吸盤內(nei) 產(chan) 生真空，吸盤抓取待測板件，之後龍門滑台移動到十字滑台上，放下真空吸吊機，真空吸吊機上的接近傳(chuan) 感器判斷和十字滑台間的距離，到達設定值後發出停止信號，真空吸吊機停止下落，電磁閥開始工作，真空發生器泄壓，吸盤鬆開板件，板件落到十字滑台上。待板件檢測完畢，真空吸吊機重新將板件抓取起來，根據不同測量結果，將板件擺放到不同位置，測量過程結束，真空吸吊機複位，準備開始下一個(ge) 周期的測量工作。

5.電氣控製箱

電氣控製箱內(nei) 安裝有控製電氣部件，用來執行各種運動控製。